|
Атомно-оптическая нанолитография
Сейчас полупроводниковые приборы для микросхем создают главным образом методами оптической литографии, но задачи миниатюризации требуют получать на поверхности изображения, состоящие всего из нескольких атомов. Это уже иная область науки – атомная оптика, а точнее атомная нанолитография. Она стала возможной, когда ученые научились управлять движением атомов при их приближении к поверхности. Изображения наносятся «атомным пером», в качестве которого может выступать зонд атомного силового микроскопа. Или с помощью атомной камеры-обскура с маской из крошечных отверстий, сквозь которые проникает пучок атомов. Последний метод изобрели сотрудники Института спектроскопии РАН, под руководством Виктора Балыкина им удалось получить структуры размером 30 нм. В своем обзоре в журнале «Российские нанотехнологии» № 7-8 2009 исследователи подробно рассказывают обо всех методах атомной нанолитографии и перспективах их применения.
Схема атомной камеры-обскура.
Атомная нанолитография – важное практическое направление не только для электронной промышленности. «Например, мы можем создавать структуры в виде так называемых наноантенн, которые позволяют эффективно обнаруживать и исследовать единичные молекулы, в том числе и биомолекулы. Наноструктуры на поверхности – основа биосенсеров нового типа», - говорит Виктор Балыкин.
Источник:
В.И.Балыкин, П.Н. Мелентьев «Нанолитография методами атомной оптики». Журнал «Российские нанотехнологии», № 7-8 2009. С. 68
Полный текст статьи доступен журналистам как pdf-файл по запросу.
Контакты:
Татьяна Пичугина
Проект «Российские нанотехнологии»
http://nanoru.ru/, http://nanorf.ru/
+7(495)93088-06, Моб. 89037640068
tpichugina@strf.ru
Москва, Научный парк МГУ
| 
